Đối với sản xuất số lượng lớn, hệ thống lắng đọng màng mỏng Integrity là lựa chọn phù hợp. Hệ thống này được cấu hình cho các ứng dụng quang học, chất bán dẫn và chất bán dẫn hỗn hợp đòi hỏi khắt khe. Giải pháp này mang lại năng suất cao, kiểm soát ứng suất, tốc độ lắng đọng cao, kiểm soát PID, kích thước hạt tối ưu và tinh thể học màng.
