Hệ thống phún xạ Discovery V tối ưu để sử dụng trên nền tảng Versa Cluster. Hệ thống cung cấp tính đồng nhất chặt chẽ, tỷ lệ độ sâu cao, dấu chân nhỏ và thời gian hoạt động cao mang lại tính linh hoạt và độ tin cậy trong khi đáp ứng nhu cầu sản xuất khối lượng lớn.
Hệ thống phún xạ Discovery V là mô-đun lắng đọng đồng nhất nhanh, được tích hợp hoàn toàn trên nền tảng Versa bằng cách sử dụng cực âm phẳng cho phún xạ magnetron. Nó sử dụng cực âm 300mm và có thể được sử dụng cho các ứng dụng tấm wafer tiêu chuẩn lên đến 200mm. Nó sử dụng một gói nam châm xoay có thể điều chỉnh để tối ưu hóa tính đồng nhất và cung cấp tốc độ cao cho sản xuất khối lượng lớn.
Trong cấu hình catốt phẳng, cực âm được gắn ngay phía trên đế. Với cấu hình này, bạn có thể đạt được độ đồng nhất chặt chẽ trên một mặt của chất nền trong quá trình phún xạ đối với các đặc tính như độ dày màng, điện trở của tấm và chỉ số khúc xạ. Đó là cấu hình lý tưởng cho các ứng dụng không yêu cầu đồng phún xạ. Thiết lập catốt này cũng mang lại năng suất được cải thiện, khả năng nhấc ra tốt và tốc độ lắng đọng cao.