|
Thông số quan trọng |
Phân giải |
0,6nm @ 15 kV, SE 1,0nm @ 1 kV, SE |
|
Tăng tốc điện áp |
0,02 ~ 30 kV |
|
|
zoom đại |
1~2.500.000x |
|
|
Điện tử loại |
Trường điện tử phát xạ Schottky |
|
|
Phòng chứa mẫu |
Zero system system |
Control control hoàn toàn tự động |
|
Camera |
Camera kép (điều hướng quang học + màn hình trụ) |
|
|
Stage loại |
Bàn đặt cơ sở học tập đồng tâm mẫu 5 trục |
|
|
Biên độ dao động |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10*~+70°, R: 360° |
|
|
Máy dò và phần mở rộng phần |
Tiêu chuẩn |
Máy dò tìm trong ống kính Máy dò Everhart-Thornley (ETD) |
|
Không bắt được |
Máy dò điện tử rải xạ ngược có thể thu vào (BSED) Máy dò tìm kính hiển vi truyền tải điện tử có thể thu vào (STEM) Máy quang phổ phổ năng lượng (EDS) Mẫu nhiễu xạ tương phản điện tử (EBSD) Mẫu trao đổi tải xuống (tùy chọn 4" & 8") Bảng điều khiển bi & núm Giai đoạn thu nhỏ bài hát giảm tốc độ Hệ thống bảo vệ từ trường và tiếng ồn (SEMI được chứng nhận) |
|
|
Phần mềm |
Ngôn ngữ |
Tiếng Anh |
|
Điều chỉnh hệ thống |
windows windows |
|
|
path |
Nav-Cam, Điều hướng nhanh bằng cử chỉ |
|
|
Chức năng tự động |
Độ sáng và độ tương phản tự động, Tự động lấy nét, Tự động làm mờ |