|
Model |
SEM3200A |
SEM3200 |
|
|||
|
Hệ thống quang điện |
Súng điện tử |
Dây tóc vonfram kiểu kẹp tóc cỡ trung bình được căn chỉnh trước |
||||
|
Phân giải |
Chân không cao |
3nm @ 30 kV (SE) |
||||
|
4nm @ 30 kV (BSE) |
||||||
|
8nm @ 3 kV (SE) |
||||||
|
*Thấp chân không |
3nm @ 30 kV (SE) |
|||||
|
phóng đại |
1-300.000x (Phim) |
|||||
|
1-1000.000x |
||||||
|
Điện áp tăng tốc |
0,2 kV ~ 30 kV |
|||||
|
thăm dò hiện tại |
≥1,2μA, Hiển thị thời gian thực |
|||||
|
Hệ thống hình ảnh |
máy dò |
Máy dò Everhart-Thornley (ETD) |
||||
|
*Máy dò điện tử tán xạ ngược (BSED), *Máy dò điện tử thứ cấp chân không thấp, *Máy quang phổ năng lượng EDS, v.v. |
||||||
|
Định dạng hình ảnh |
TIFF, JPG, BMP, PNG |
|||||
|
Hệ thống chân không |
Mô hình chân không |
Độ chân không cao |
Tốt hơn 5×10 -4 Pa |
|||
|
Độ chân không thấp |
5 ~ 1000 năm |
|||||
|
Chế độ điều khiển |
Điều khiển hoàn toàn tự động |
|||||
|
Phòng chứa mẫu |
Máy ảnh |
Điều hướng quang học |
||||
|
Giám sát trong buồng mẫu |
||||||
|
Bảng mẫu |
Ba trục tự động |
Năm trục tự động |
||||
|
Phạm vi sân khấu |
X: 120 mm |
X: 120 mm |
||||
|
Y: 115mm |
Y: 115mm |
|||||
|
Z: 50 mm |
Z: 50 mm |
|||||
|
/ |
R: 360° |
|||||
|
/ |
T: -10° ~ +90° |
|||||
|
Phần mềm |
Hệ điều hành |
các cửa sổ |
||||
|
Điều hướng |
Điều hướng quang học, Điều hướng nhanh bằng cử chỉ |
|||||
|
Chức năng tự động |
Độ sáng và độ tương phản tự động, Tự động lấy nét, Tự động làm mờ |
|||||
|
Chức năng đặc biệt |
Chỉnh sửa loạn thị hình ảnh có hỗ trợ trí thông minh *Khâu hình ảnh FOV lớn (Tùy chọn) |
|||||
|
Yêu cầu cài đặt |
Nhiệt độ |
20°C (68°F) ~ 25°C (77°F) |
||||
|
Độ ẩm |
50 % |
|||||
|
Nguồn cấp |
AC 220 V(±10 %), 50 Hz, 2 kVA |
|||||