• Hình ảnh có độ phân giải cao ở điện áp tăng tốc thấp.
• Vật kính tổng hợp điện từ cải thiện độ phân giải điện áp thấp và cho phép quan sát mẫu vật từ tính.
• Công nghệ đào hầm áp suất cao (SuperTunnel) đảm bảo độ phân giải điện áp thấp.
• Đường quang điện tử không có sự giao nhau giúp giảm quang sai của hệ thống một cách hiệu quả và cải thiện độ phân giải.
• Vật kính có nhiệt độ không đổi được làm mát bằng nước, để đảm bảo độ ổn định, độ tin cậy và khả năng lặp lại của vật kính hoạt động.
• Hệ thống khẩu độ khác nhau sáu lỗ bị lệch từ tính, với các khẩu độ có thể chuyển đổi tự động, không cần điều chỉnh cơ học, đạt được hình ảnh có độ phân giải cao hoặc chế độ phân tích chùm tia lớn thông qua chuyển đổi nhanh chỉ bằng một cú nhấp chuột.
|
Các thông số quan trọng |
Phân giải |
0,9nm @ 15 kV, SE 1,3nm @ 1,0 kV, SE 0,8nm @ 30 kV, STEM |
|
Điện áp tăng tốc |
0,02 ~ 30 kV |
|
|
phóng đại |
1 ~ 2.500.000x |
|
|
Loại súng điện tử |
Súng điện tử phát xạ trường Schottky độ sáng cao |
|
|
Phòng chứa mẫu |
Hệ thống chân không |
Điều khiển hoàn toàn tự động, hệ thống chân không không dầu |
|
Máy ảnh |
Camera kép (Điều hướng quang học + màn hình buồng) |
|
|
Phạm vi sân khấu |
X: 125 mm, Y: 125 mm, Z: 50 mm T: -10°～ +90°, R: 360° (*Có sẵn phiên bản buồng cực lớn tùy chọn) |
|
|
Máy dò và phần mở rộng |
Tiêu chuẩn |
Máy dò Inlens SE Máy dò Everhart-Thornley (ETD) |
|
Không bắt buộc |
Máy dò điện tử tán xạ ngược góc trung bình chèn phẳng Máy dò điện tử truyền quét có thể thu vào tự động STEM Khóa tải trao đổi mẫu Máy làm chùm tia nhanh Quang phổ tán sắc năng lượng (EDS/EDX) Mẫu nhiễu xạ tán xạ ngược điện tử (EBSD) Dòng điện cảm ứng chùm tia điện tử (EBIC) Phát quang âm (CL) Giai đoạn kéo tại chỗ Bộ điều khiển Nano Ghép ảnh quy mô lớn Bảng điều khiển trackball & núm |
|
|
Phần mềm |
Ngôn ngữ |
Tiếng Anh |
|
Hệ điều hành |
các cửa sổ |
|
|
dẫn đường |
Nav-Cam, Điều hướng bằng cử chỉ |
|
|
Chức năng tự động |
Độ sáng và độ tương phản tự động, Tự động lấy nét, Tự động làm mờ |