Thông số quan trọng 

Phân giải

0,6nm @ 15 kV, SE

1,0nm @ 1 kV, SE

Tăng tốc điện áp

0,02 ~ 30 kV

zoom đại

1~2.500.000x

Điện tử loại

Trường điện tử phát xạ Schottky

Phòng chứa mẫu

Zero system system

Control control hoàn toàn tự động

Camera

Camera kép (điều hướng quang học + màn hình trụ)

Stage loại

Bàn đặt cơ sở học tập đồng tâm mẫu 5 trục

Biên độ dao động

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T: -10*~+70°, R: 360°

Máy dò và phần mở rộng phần

Tiêu chuẩn

Máy dò tìm trong ống kính

Máy dò Everhart-Thornley (ETD)

Không bắt được

Máy dò điện tử rải xạ ngược có thể thu vào (BSED)

Máy dò tìm kính hiển vi truyền tải điện tử có thể thu vào (STEM)

Máy quang phổ phổ năng lượng (EDS)

Mẫu nhiễu xạ tương phản điện tử (EBSD)

Mẫu trao đổi tải xuống (tùy chọn 4" & 8")

Bảng điều khiển bi & núm

Giai đoạn thu nhỏ bài hát giảm tốc độ

Hệ thống bảo vệ từ trường và tiếng ồn (SEMI được chứng nhận)

Phần mềm

Ngôn ngữ

Tiếng Anh

Điều chỉnh hệ thống

windows windows

path

Nav-Cam, Điều hướng nhanh bằng cử chỉ

Chức năng tự động

Độ sáng và độ tương phản tự động, Tự động lấy nét, Tự động làm mờ