Các thông số quan trọng

Phân giải

0,9nm @ 15 kV, SE

1,3nm @ 1,0 kV, SE

0,8nm @ 30 kV, STEM

Điện áp tăng tốc

0,02 ~ 30 kV

phóng đại

1 ~ 2.500.000x

Loại súng điện tử

Súng điện tử phát xạ trường Schottky độ sáng cao

Phòng chứa mẫu

Hệ thống chân không

Điều khiển hoàn toàn tự động, hệ thống chân không không dầu

Máy ảnh

Camera kép (Điều hướng quang học + màn hình buồng)

Phạm vi sân khấu

X: 125 mm, Y: 125 mm, Z: 50 mm

T: -10°～ +90°, R: 360°

(*Có sẵn phiên bản buồng cực lớn tùy chọn)

Máy dò và phần mở rộng

Tiêu chuẩn

Máy dò Inlens SE

Máy dò Everhart-Thornley (ETD)

Không bắt buộc

Máy dò điện tử tán xạ ngược góc trung bình chèn phẳng

Máy dò điện tử truyền quét có thể thu vào tự động STEM

Khóa tải trao đổi mẫu

Máy làm chùm tia nhanh

Quang phổ tán sắc năng lượng (EDS/EDX)

Mẫu nhiễu xạ tán xạ ngược điện tử (EBSD)

Dòng điện cảm ứng chùm tia điện tử (EBIC)

Phát quang âm (CL)

Giai đoạn kéo tại chỗ

Bộ điều khiển Nano

Ghép ảnh quy mô lớn

Bảng điều khiển trackball & núm

Phần mềm

Ngôn ngữ

Tiếng Anh

Hệ điều hành

các cửa sổ

dẫn đường

Nav-Cam, Điều hướng bằng cử chỉ

Chức năng tự động

Độ sáng và độ tương phản tự động, Tự động lấy nét, Tự động làm mờ