Công nghiệp tráng màng mỏng

Hệ thống lắng đọng hơi hóa học (PE-CVD)

Mã sản phẩm: Hệ thống lắng đọng hơi hóa học (PE-CVD)

Giá: Liên hệ

Hệ thống lắng đọng màng mỏng Voyager cung cấp PE-CVD & phún xạ với lớp phủ phù hợp, xử lý ở nhiệt độ thấp và tính đồng nhất nội tại cao. Hệ thống Voyager hoàn toàn tương thích với tất cả các tùy chọn giao diện người dùng, bao gồm kiến trúc cụm để mở rộng sản xuất khối lượng lớn

0986 818 013

Voyager là một hệ thống lắng đọng hơi hóa học (PE-CVD) được tăng cường plasma, tập trung vào carbon giống kim cương  (DLC) mang lại tính linh hoạt tốt nhất trong phân khúc để phủ lớp phẳng (ví dụ: tấm silicon) và các bộ phận ba chiều (ví dụ: thấu kính quang học). Hệ thống được cấu hình với hệ thống điều khiển Process Pro của Denton, cho phép điều khiển quy trình tự động và thủ công.

Ngoài ra, có một cấu hình buồng độc quyền tùy chọn để cho phép đồng phún xạ kim loại trong quá trình lắng đọng DLC ​​cho phim DLC (Me-DLC) pha tạp kim loại. Cấu hình này là duy nhất trong ngành và mở ra tiềm năng phát triển các phim DLC mới với các đặc tính cơ học, điện và ma sát có thể điều chỉnh được.

 Nền tảng Voyager cung cấp màng carbon giống như kim cương cho:

  • Màn hình chống xước
  • Mang lớp phủ cho các sản phẩm y tế & thương mại
  • Phim bảo vệ trong suốt IR