Công nghiệp tráng màng mỏng

Hệ thống lắng đọng màng mỏng Explorer

Mã sản phẩm: Hệ thống lắng đọng màng mỏng Explorer

Giá: Liên hệ

Với kích thước buồng linh hoạt, hệ thống lắng đọng màng mỏng Explorer có thể chứa các chất nền lớn tới 8 inch. Cấu hình phún xạ hỗ trợ phún xạ DC, xung DC và RF với khả năng đồng phún xạ. Công nghệ PEM độc quyền tùy chọn có sẵn cho chế độ chuyển tiếp điều khiển vòng kín và phún xạ phản ứng tốc độ cao của oxit kim loại và nitrua. Chúng tôi cung cấp nhiều tùy chọn bơm – khuếch tán, đông lạnh và tăng áp – ở vị trí phía sau hoặc phía dưới cung cấp một hệ thống đáp ứng các yêu cầu quy trình của bạn và cung cấp khả năng bơm xuống nhanh chóng mà bạn yêu cầu để có năng suất cao.

0986 818 013

Hệ thống lắng đọng màng mỏng Explorer là một nền tảng R&D chân không cao và sản xuất thử nghiệm linh hoạt có thể được cấu hình cho quá trình bay hơi chùm điện tử (e-beam), bay hơi điện trở hoặc phún xạ từ. Lắng đọng hỗ trợ ion có sẵn dưới dạng tùy chọn trong cả ba cấu hình. Explorer có sẵn ở chế độ bán thủ công hoặc có thể được nâng cấp lên chế độ hoàn toàn tự động với tính năng tự động hóa bằng một nút nhấn để giảm thời gian ngừng hoạt động của hệ thống.