Mã sản phẩm: Hệ thống lắng đọng màng mỏng Explorer
Giá: Liên hệ
Hệ thống lắng đọng màng mỏng Explorer là một nền tảng R&D chân không cao và sản xuất thử nghiệm linh hoạt có thể được cấu hình cho quá trình bay hơi chùm điện tử (e-beam), bay hơi điện trở hoặc phún xạ từ. Lắng đọng hỗ trợ ion có sẵn dưới dạng tùy chọn trong cả ba cấu hình. Explorer có sẵn ở chế độ bán thủ công hoặc có thể được nâng cấp lên chế độ hoàn toàn tự động với tính năng tự động hóa bằng một nút nhấn để giảm thời gian ngừng hoạt động của hệ thống.