Hệ thống phún xạ Magnetron Discovery mang lại tính linh hoạt và độ tin cậy đồng thời đáp ứng nhu cầu sản xuất khối lượng lớn. Hệ thống lắng đọng màng mỏng này có thể chứa một cấu hình có độ đồng nhất cao catốt duy nhất cho sản xuất khối lượng lớn hoặc tối đa 4 catốt đồng tiêu với điều chỉnh ba trục của độ lệch, mục tiêu đến khoảng cách chất nền và góc cho lớp phủ đồng nhất. Mỗi cực âm có thể được tối ưu hóa cho một phương pháp lắng đọng hoặc vật liệu mục tiêu khác nhau.

Hệ thống Discovery được tiêu chuẩn hóa với chế độ hoàn toàn tự động với tính năng tự động hóa bằng một nút nhấn để giảm thời gian ngừng hoạt động của hệ thống. Nó được tích hợp với cấu hình cụm có thể tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu quy trình cụ thể cho sản xuất khối lượng lớn. Chế độ bán thủ công và các tùy chọn giao diện người dùng khác cũng có sẵn cho các nhu cầu thông lượng ít đòi hỏi hơn.

Tất cả các hệ thống Discovery đều đi kèm với ProcessPro-HV cho nhu cầu số lượng lớn; phần mềm này sử dụng bộ lập lịch vật liệu hoàn toàn tự động để tải mô-đun với hiệu quả tối đa. Giao diện người dùng tuân thủ SEMI 395 với các điều khiển truy cập đa cấp, an toàn và cấu hình hệ thống trực quan cũng như chỉ báo trạng thái. ProcessPro HV cũng có tính năng ghi dữ liệu toàn diện và biểu đồ tùy chỉnh trong công cụ.